Opis
System do analizy mikrostruktur MSA-600 to integracja mikroskopu ze Skanującym Dopplerowskim Wibrometrem Laserowym, Mikroskopową Video-Stroboskopią oraz Intereferometrią Światła Białego. Użytkownik otrzymuje urządzenie typu “wszystko w jednym” dostarczające wszystkich technologii pozwalających na pomiary charakterystyk mikrostruktur oraz ich topografii.
MSA-600 to urządzenie które jest w stanie dostarczyć danych 3D, zarówno dynamicznych jak i statycznych, na temat zachowania wszelakich mikrostruktur.
MSA-600 umożliwia:
- Pomiary charakterystyk ruchu układów typu MEMS zarówno “out-of-plane” jak i “in-plane”
- Pomiary charakterystyk w dziedzinie częstotliwości
- Analizę błędów mikrostruktur i testy niezawodności
- Testy i udoskonalanie modeli symulacyjnych
- Pomiary w dziedzinie czasu
- Graficzne analizy wykresów Bodego
